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光學電子潔凈工程光學電子潔凈工程,也稱為潔凈室工程,是一種為了滿足對空氣質量和微塵清潔度要求比較高的領域而開展的工程。光學電子潔凈工程的產(chǎn)品主要集中在光學及電子領域,例如微電子芯片、半導體器件、光學儀器等。 在潔凈工程中,主要的工作就是將室內的塵埃、細微塵粒、異味及其他粒子物質排除、抑制到流凈化之下,以致滿足工藝工程的要求。 為了保持房間內塵埃含量在一定的范圍以保證以下工作的準確性:
光學電子潔凈工程一般包括以下內容:
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